BDCY15-5系列离子束溅射薄膜压力传感器

BDCY15-5系列离子束溅射薄膜压力传感器，应用先进的离子束溅射和离子束刻蚀工艺，将应变电桥直接制作在金属测压膜片上。由于不用传统的胶粘工艺，显著改善了应用式传感器的长期稳定性及抗蠕变特性，使产品使用的温度范围大为扩展。

目前该传感器广泛应用于某新型大推力低温发动机低温介质（液氮液氧）的压力测量，具有体积小、精度高、稳定性好、使用温度范围宽、温度漂移小、电桥阻抗高、抗振动和抗冲击性强等优点，可用于高温及低温等恶劣的环境。

技术参数

1.      灵敏性：1.5±0.2mv/V

2.      量程：0~1-150Mpa（特殊要求可定做）

3.      准确度：±0.1、±0.2、±0.5（%F·S）

4.      稳定性：±0.1%FS/年

5.      介质温度：-196℃×+175℃

6.      温度系数：零点：±1~2±10^-4/℃;灵敏度：±1~2±10^-4/℃

7.      桥臂电阻：1~3KΩ

8.      接液材料：膜片17-4PH，过程连接件1Cr18Ni9Ti

9.      过载：150%FS

10.  加速度：7.5g  三向

11.  冲击、振动、高低温及温热：按GJB150相关标准执行