真空系统出厂时已经包括了抽速控制、进气过滤、主要运行数据显示、运行保护及远程控制接口等。只需要在现场进行简单的连接电源和管道,即可以组成一个完整的真空系统。该真空系统的控制系统由先进的PLC控制系统经过编程后组成,以触摸屏为人机界面,实现对真空系统、工件行走、磁控靶、工艺设定和执行、报警保护系统等的全自动化控制。

     真空系统，顾名思义，就是有两台两台以上的真空泵串联或者并联起来，加装一个储气罐，所有的真空全部抽到储气罐里面，通过PLC程序控制系统，自动控制真空泵的开启和关闭。

     真空系统自启动后，全部运行过程可以实现全自动控制。在工作中，真空系统内各处的真空度（即真空稀薄程度平均分布）始终在其允许范围内上下波动，其波动范围可根据用户要求进行调整。使用螺杆真空泵、罗茨真空泵、旋片真空泵及水环真空泵真空系统能达到最佳流程工艺

欧瑞康莱宝LEYBOLD的TRTVAC C/T系列直联双级油封旋片真空泵

　　产品特点：

　　1.高效、可靠、低噪音;

　　2.极限真空高度，抽速大，高水蒸气允许压强;

　　3.易于安装、使用和维护，噪音低，大邮箱设计及真 空泵油的良好特性确保泵无故障运行时间长;

　　4.内置防返油阀，内置锥形灰尘捕集网，特殊排气设 计确保不喷油，维护工作少。

　　应用范围：

　　特别适用于科研、化工、分析仪器以及制冷业和电光源产品的生产使用，也可作为大型真空系统的前级泵使用。

　　相关参数：　　

TRIVAC C/T 双级
油封旋片泵           D8C     D16C     D30C     D40C     D60C     D40T     D60T
实测抽速（50HZ）M3/h 8.11 17.01 32.24 42.99 64.37 45 63
实测抽速（60HZ）M3/h 9.65 20.33 38.64 51.78 72.23 54 76