硅碳棒有良好的化学稳定性，抗酸能力强。在高温条件下碱性物质对其有侵蚀作用。

　　硅碳棒元件在1000℃以上长期使用能与氧气和水蒸气发生如下作用：

　　①Sic+2O2→Sio2+CO2 ②Sic+4H2O＝Sio2+4H2+CO2

　　致使元件中Sic2含量逐渐增多，电阻随之缓慢增加，为之老化。如水蒸气过多，会促进Sic氧化，由②式反应产生的H2与空气中的O2给合H2O再反应产生恶性循环。降低元件寿命。氢气(H2)能使元件机械强度降低。氮气(N2)在1200℃以下能防止Sic氧化1350℃以上与SC发生反应，使Sic分解氯气(Cl2)能使Sic完全分解。