厂商 ：深圳市森东宝科技有限公司
地址 ：广东 深圳主营产品 ：显微镜 探针座 探针夹具 探针台 探针 安捷伦 网络分析仪 吉时利测试仪表 LCD液晶激光修复仪
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商品详情描述
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低温和高温真空探针台
真空环境高低温测试技术
以下两个应用需要真空测试环境。
极低温测试:
因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。
高温无氧化测试：
当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差，物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。
晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，SEMISHARE针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。
CGO-4(开循环)/CGC-4(开循环)特点：
载物Chuck 温度范围：5K-500K
外置4个定位针臂，预留2个
探针X-Y-Z三方向移动，行程：25mm，定位精度：10微米
最多可以外置6个定位针臂
载物chuck 最大可到2寸
双屏蔽chuck高低温时达到100FA 的测试精度
针臂定位精度可以升级为0.7微米
极限真空到10-10 torr
可以选择射频配件做最高67 GHz的射频测试
可以选择防震桌
可以选择超高真空腔体
客户订制
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温控规格:
机械规格
光学部件规格
可选附件
防震桌
方形chuck
分子泵组
射频部件
Chuck可外部移动装置
客户定制。
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