测量范围(mm) X 200 300 500 800

    Y 200 300 500 800

    Z200250

    技术指标Technical Features

    影像摄取系统 SONY 1/2" High-resolution black & white CCD camera
德制1394接口，数字式1/2"高分辨率彩色CCD，最高达到每秒80幅显示频率

    分辨率0.1um

    重复精度X、Y=1.3um；Z=2.5um（H）X、Y=1.3umX、Y=1.3um；Z=2.5um（H）X、Y、Z=2.0um

    测量精度 U1 x、y = (1.5+L/333)um

    Advance：U1 x、y = (1.0+L/333)um U1 x、y = (2.0+L/333)um

    Advance：U1 x、y = (1.0+L/333)um

    U1 z = (3.0+L/250)um

    Advance：U1 z = (2.0+L/250)um U1 z = (3.0+L/250)um

    Advance：U1 z = (1.5+L/250)um

    U2 x、y = (2.0+L/250)um

    Advance：U2 x、y = (1.5+L/250)um U2 x、y = (2.5+L/250)um

    Advance：U2 x、y = (1.5+L/250)um

    光源照明系统 同轴光（黄色LED）

    轮廓光（黄色LED)

    环光（黄色8向16位） 同轴光（2组白色LED，含图案对焦光学片及机构）

    轮廓光（白色LED)

    环光（白色7向14位附彩色CCD）

    雷射激光系统Keyence LKG30 光点理论直径：30um 工作范围：±4.5um 参照距离：30mm 光波长度：650nm

    CCD两种对焦模式快速对焦（约1.5秒）& 高精度对焦

    雷射对焦单点对焦/扫描对焦

    缩放倍率

    (2*3段同轴Zoom) 1X物镜25X 50X 100X (分辨率：1280X1024 17")

    2X物镜50X 100X 200X (分辨率：1280X1024 17")

    焦距/工作范围 1X物镜92mm/81~93mm

    2X物镜36mm/34~37mm

    机器特征Machine Features

    机器型式花岗岩床台固定桥式

    机器重量（净重/毛重） 590kg/660kg 710kg/810kg 1080kg/1230kg 2120kg/2320kg

    最大载荷30kg

    最高运行速度X、Y=200mm/s Z=100mm/sX、Y=300mm/s Z=200mm/s

    最高加速度1000mm/s2

    系统特征System Features

    控制系统全自动CNC控制系统

    驱动系统四轴程控：三轴交流伺服马达全闭回路控制，高精密级线性滑轨与预压滚珠螺杆驱动，步进马达Zoom同轴控制镜头组

    软件配置 标准PowerMetrix 3.0

   
选配制程统计管制SPC模块（网络版）；QV、VMS程序转换系统PowerMetrix离线版；3D型状误差动态分析软件；CAD整合型报表；精密测量操作系统等

    操作系统Windows XP