1.双向重复定位精度高达0.1um
2.直驱直线马达实现超精密运动
3.高精度非接触式直线编码器（光栅）
4.交叉滚子轴承实现平稳运动
5.占地面积小，性能卓越
行程150mm
精度±0.3um
负载12.0kg

1.直驱直线马达实现超精密运动
2.高精度非接触式直线编码器（光栅）
3.占地面积小，性能卓越
行程200mm
精度±0.3um
负载12.0kg

1.直驱直线马达实现超精密运动
2.长寿命直线运动导轨系统
3.2轴内部电缆管理系统
4.可选气体净化的密封设计
5.低成本，占地面小，高性能
行程450mm
精度±1.0um
负载50.0kg

1.大而明亮的孔径
2.行程范围从100mmx100mm到400mmx400mm
3.高性能直线运动导架
4.15角秒的垂直度
5.高精度非接触式直线编码器（光栅尺）
行程400mm
精度±2.0um
负载90.0kg

1.适合恶劣环境
2.坚.台面和导轨罩
3.完全整合电缆管理系统
4.高精度，非接触式直线编码器（光栅尺）
5.可选气体净化的密封设计
行程1000mm
精度±1.0um
负载135.0kg

1.宽底座可以承受较大的偏移负载
2.强大的双直线电机驱动
3.坚硬涂层台面和导轨罩
4.完全整合电缆管理系统
5.可选气体净化的密封设计
行程1000mm
精度±1.0um
负载135.0kg

1.保护金属导轨罩
2.完整的电缆管理系统
3.洁净空间应用的理想选择
4.紧凑的结构，高性能，直线电机平台
5.成像和扫描应用中具有优良的速度控制性能,适合成像和扫描应用
行程600mm
精度±1.0um
负载70.0kg

1.防护金属导轨罩和侧面封闭可以适应恶劣的环境
2.完整的电缆管理系统
3.高性能直驱直线电机实现优良的伺服性能
4.紧凑结构以适应有限空间的应用需求
行程600mm
精度±1.0um
负载70.0kg

1.双向重复定位精度高达75nm
2.直驱直线马达实现超精密运动
3.高精度非接触式直线编码器（光栅）
4.交叉滚子轴承实现平稳运动
5.占地面积小，性能卓越
6.23N(5.2lb)持续推力的直线伺服马达
行程150mm
精度±75nm
负载12.0kg