The principals of how a cleanroom works
洁净室工作原理
Cleanroom performance 洁净室性能
Mixed flow rooms 混合流洁净室
Class 100K－less than 20 air changes/hr
十万级洁净室－换气次数小于20次/小时
Class 10K －20 to 60 air changes/hr
万级洁净室－换气次数20至60次/小时
Class 1K －60 to 150 air changes/hr
千级洁净室－换气次数60至150次/小时
Laminar air flow rooms 层流洁净室
Class 100,10,1 －200 to 600 air changes/hr
100级、10级、1级洁净室换气次数在200到600次之间
80 to 100% ceiling coverage by filters
过滤器的覆盖率不低于80％
Mini-enviroments 微环境
Sub-class 1 capable
可提供优于1级的环境