LCD平板测试探针台,液晶屏激光修复探针台
设备包含:
1.NW镭射发射系统(含 Laser Head、Laser Controller)
2.光学影像系统 (专用显微镜组、CCD、镭射加工/观测物镜 、光源)
3.X/Y/Z 伺服驱动系统
4.WD控制系统
5.电控系统
6.气压防震系统
7.精密钢构底座
2.面版尺寸
Panel Size: 32”(650mm x 550mm) Max.
入料方式: 长边入料
※参考规格
3.机台规格
3-1 X/Y/Z轴驱动系统
项目 |
说明 |
X、Y轴有效行程 |
650mm x 550mm |
X、Y轴驱动形式 |
伺服马达系统搭配精密螺杆 |
X/Y轴最小分辨率 |
1um/pulse |
Z轴最大行程 |
Within 50mm |
Z轴驱动形式 |
伺服马达系统搭配精密螺杆 |
Z轴最小分辨率 |
1um/pulse |
(按实际设计配置为准)
3-2 镭射头
项目 |
说明 |
镭射种类 |
ND:newwave ezlaze3 |
镭射波长 |
1064nm/532 |
镭射功率(最大输出) |
1064nm︰>2 mJ/pulse 532nm:>1.1 mJ/pulse |
最大Peak Power |
0.7mW |
波幅 |
8-6 nsec |
激光镭射频率 |
1~5 Hz |
冷却方法 |
风冷式/水冷式 |
输出能量控制 |
1000 steps for 0~100% ※Hi/Low switch-able |
Flash Lamp Life time |
5 年 或 >30,000,000 shots |
镭射头保修期 |
1 年 (自设备move in 日起算) |
界面 |
RS-232 |