特点 
　　＊测量范围宽：1×103 ～1.6×1016Ω 
　　＊测试夹具稳定：比电阻盒，元件测试夹具 
　　＊测量速度高：10ms 
　　＊按测试顺序编程 
　　＊计算电阻率 
　　＊被测器件可接地测量 

规格 
测量参数：R（直流电阻），I（直流电流），ps（表面电阻率），pv（体电阻率） 
数学功能：偏差和百分偏差 
显示数字：3，4或5位（可选择） 
测试电压：0.1 ～ 1000Vdc 
　　　　　0.1 ～ 200Vdc时，以0.1V步进 
　　　　　0.1 ～ 1000Vdc时，以1V步进 
电压精度：≤200V时为0.16％+100mV 
　　　　　＞200V时为0.16％+500mV 
最大电流：≤100V时为10mA；≤250V时为5mA 
　　　　　≤500V时为2mA；≤1000V时为1mA 
电流相容性调定：0.5mA,1mA,2mA,5mA,10mA 
输出电阻：1KΩ±10％ 
输入电阻：1KΩ±10％ 
测试电缆长度：2 m　（最大值） 
测量范围和精度： 
直流电流：60fA～100uA 基本精度：±0.4％ 
直流电阻：1×103 ～1.6×1016Ω　基本精度：±0.6％ 
测量时间：短：10ms；中：30ms；长：390ms 
修正功能： 
开路误差为0：消除由测试夹具中杂散寄生电阻引起的测量误差 
测试序列程序：控制一系列电阻测量。充电时间、测量间隔时间和测量次数可以编程。 
比较功能：对测量参数设立高/符合/低界限 
接触检查功能： 
1、 可以检测测试夹具与器件之间的接触故障 
2、 可提供的被测器件（DUT）类型 
其它功能： 
1、 存储/调用：可以由内部非易失存储对10种仪器设置进进存储/调用 
2、 连续存储功能：若仪器被切断或发生电源故障，仪器设置将自动被存储起来 
3、 GPIB接口：所有控制设置，被测值和比较器信息 

一般指标 
电源要求：90 ～ 132V或198 ～ 264V，47 ～ 66Hz，45VAmax 
工作温度：0℃ ～ 45℃ 
尺寸：320(宽)×100(高) ×450(长)mm 
重量：6.5kg