净化车间压差的控制

? ?维持压差的控制措施有：(1)回风口控制，即通过回风口上的百叶可调格栅或阻尼层改变其阻力来调整回风量，达到控制室内压力的目的。这是一种简单的控制方式，特点是结构比较简单、经济。格栅控制调节方便，但格栅不易密闭，且调节幅度不大，同时也会对气流方向产生影响。一般使用初效泡沫塑料或初效无纺布作为阻尼层，通过改变回风口的阻力来调整回风量，控制洁净室内外的压差。随着阻尼层使用时间增长，其阻力增加，室内正压有加大的趋向，因此应定期进行清洗，提供净化设备安装与维护，阻尼层可以重复使用。(2)余压阀控制通过手动或自动调整余压阀上的平衡压块，改变压阀的阀门开度，实现室内的压力控制。余压阀一般设在洁净室下风侧墙上。采用这种措施时，洁净室内需有足够的剩余正压值，如果排风量发生变化，需重新调整余压阀。余压阀安装简单，但长期使用后关闭不严。如果余压阀完全关闭时室内正压值仍低于要求值，桂林净化设备安装与维护，则需改用其他方式控制室内压差。(3)调节回风阀或排风阀根据检测的室内压力值，调节回风管上（或排风管上）的电动阀，改变回风量（或排风量），控制洁净室内的压力值。(4)差压变送器控制，通过差压变送器检测室内的压力，然后调整新风量，新风（OA)管路上的电动阀（MD)阀门开大（变小）。

洁净室净化空调系统送风型式的比较选择

? ? ?（一）净化送风和空调送风合一的送风型式，通常也称作集中式送风型式。此方案的净化空调机组（空气处理机组 AHU）集中设置在空调机房内，净化设备安装与维护电话，全部的净化空调送风均在净化空调机组内进行净化和热、湿处理，然后由庞大的送风管道将全部的送风输送到洁净室的吊顶上部，再经过设在洁净室吊顶上的终端高1效过滤器或高1效过滤器送风口过滤后送到洁净室内，来实现洁净室工艺生产所需要的温度、湿度、洁净度和房间的压差，洁净室的回风经回风口、回风管再接回到空调机房的净化空调机组内与新风混合后重复进行净化和热、湿处理。

? ?此方案又可分为全新风送风方案（直流系统）；一次回风方案；一、二次回风方案和(MAU)加(FFU)方案等四种不同的净化空调送风型式。这种送风方案是当前洁净室特别是非单向流洁净室应用广泛的净化空调送风方案。这种送风方案的系统划分明确，风量和温、湿度控制调节都单一。

? ?但是洁净度级别较高、送风量较大时，存在着空调机房占面积大，送、回风管体积大占面积和占空间大，送、回风管道长，送风机的余压高，噪音大，风量输送耗电量大等问题。因此，这种送风方案较适用在低级别的非单向流洁净室的送风，对 5 级以上的单向流洁净室送风就不太经济合理了。

1. AHU 全新风的净化空调送风方案（直流系统）

? ?全新风净化空调送风方案是用于特殊的不允许回风的洁净室的送风方案中。 ? ?如：洁净室内工艺生产类别为甲、乙类火灾危险等级或工艺过程产生有剧1毒等有害物不允许回风的洁净送风系统中。

2.AHU 一次回风的净化空调送风方案

? ?一次回风的送风方案多用在洁净室内的发热量或产湿量很大，室内余热或余湿的送风量大于、等于或近于净化送风量的低洁净度等级的非单向流洁净室中。

3.AHU 一、二次回风的净化空调送风方案

? ?为了节能、空气热湿处理过程中的冷热相互抵消，在洁净室净化送风量大于其余热、余湿的空调送风量时，1好采用一、二次回风方案，将二次混合点设计在系统送风点上，该方是节能、1经1济的送风方案。

4.MAU+RAU 的净化空调送风方案

? ?此方案多用于多个洁净室其洁净度，温、湿度要求不同，室内的产热量和产湿量也不尽相近，为了确保每个洁净室的洁净度，温、湿度及其精度的要求，就要设置多个循环机组，循环机组的送风量是净化送风量，并且在机组内设置必要的热、湿处理设备，用来补充新风机组热、湿处理的不足和保证该洁净室温、湿度精度的微调节。由于循环机组设在洁净室的吊顶上面，循环机组的送风余压相对都较小，机组体积和机组噪声、振动也较小，送回风管也比较短小；但是，要注意循环机组的凝结水排放问题，往往这种方案的问题都出在凝结水排放的处理上。

? ?此方案的新风机组设在空调机房内，这些洁净室所需的新风全部由新风机组（MAU）进行净化和热湿的集中处理。然后分配到每一个循环机组内与其回风混合。新风机组的新风量不仅仅要补充各洁净室的排风还要保证每个洁净室的正压。新风机组的热湿处理1好到某洁净室空气的机械露1点上，如果将新风热湿处理点低于洁净室的机械露1点作到新风不仅承担新风本身的湿负荷，而且还将洁净室的湿负荷也掉，此时循环机组内的表冷器可为干式表冷器。 （二）、净化送风和空调送风分离的方案，此方案通常被称作半集中式或分散式的送风方案。为了大大地节省运行时的能耗，将洁净室内余热、余湿的空调送风量（通常大大地小于洁净室的净化送风量），由设在空调机房内的新风机组(MAU)进行必要的净化和热湿处理，而将占总送风量 50~90%的保证洁净室洁净度的净化送风量由设在洁净室附近的循环机组进行净化和补充的热、湿处理，或直接采用吊顶上的 FFU（风机过滤器机组）和干盘管来解决洁净室的洁净度等级和温度的微调节。

? ?此种净化送风与空调送风相分离的送风方案，不仅可节省运行的能耗，而且大大地减少了空调机房面积，省掉了庞大的送、回风管道，降低了洁净室的空间高度。此种净化空调送风方案又可分为：空调机组(AHU)加风机过滤器机组(FFU)方案，新风机组（MAU）加循环机组（RAU）加（FFU）方案；新风机组（MAU）加风机过滤器机组（FFU）加干冷盘管(DC)方案等三种送风方案。

? ?1． 空调机组 AHU(MAU）加风机过滤器机组（FFU）的净化空调送风方案此方案中净化空调系统的全部热、湿负荷（洁净室内产生的热、湿负荷及新风的热、湿负荷）全部由设在空调机房内的空调机组来负担。此时，空调机组的送风量是本系统余热、余湿的空调送风量（其中包括全部新风和部分回风，但远远小于保证洁净室洁净度等级的净化送风量），它应能确保洁净室内的温度和相对湿度的恒定。而该洁净室的洁净度由设在洁净室吊顶上的风机过滤器机组（FFU）将净化送风量就地循环过滤来保证。此方案中应该注意的是，FFU 运行过程中所产生的热量也应由空调机组来承担。此方案更适合用于在大面绩非单向流洁净室内有局部的垂直单向流的混合流洁净室中。

? ?2． 新风机组（MAU）加循环机组（RAU）加风机过滤器单元（FFU）净化空调送风方案，此方案多用于多个洁净室其洁净度，温、湿度要求不同，室内的产热量和产湿量也不尽相近，为了确保每个洁净室的洁净度，温、湿度及其精度的要求，就要设置多个循环机组，循环机组的送风量是净化送风量，并且在机组内设置必要的热、湿处理设备，用来补充新风机组热、湿处理的不足和保证该洁净室温、湿度精度的微调节。由于循环机组设在洁净室的吊顶上面，循环机组的送风余压相对都较小，机组体积和机组噪声、振动也较小，净化设备安装与维护公司，送回风管也比较短小；但是，要注意循环机组的凝结水排放问题，往往这种方案的问题都出在凝结水排放的处理上。此方案的新风机组设在空调机房内，这些洁净室所需的新风全部由新风机组（MAU）进行净化和热湿的集中处理。然后分配到每一个循环机组内与其回风混合。新风机组的新风量不仅仅要补充各洁净室的排风还要保证每个洁净室的正压。新风机组的热湿处理1好到某洁净室空气的机械露1点上，如果将新风热湿处理点低于洁净室的机械露1点作到新风不仅承担新风本身的湿负荷，而且还将洁净室的湿负荷也掉，此时循环机组内的表冷器可为干式表冷器。

? ?当多个洁净室中有若干个 1 级、10 级、100 级等高净化级别的垂直单向流洁净室时，为了减少循环机组（RAU）的负担和送、回风管道的断面，此时循环机组仅解决该单向流洁净室的空调送风量，以保证洁净室的温度、相对湿度和洁净室的正压，而占 90％以上的绝大部分送风量有设在洁净室吊顶上的 FFU 来负担，以保证洁净室的高洁净度级别。

? ?3． 新风机组（MAU）加风机过滤器机组（FFU）加干冷盘管(DC)的净化空调送风方案此方案是新风机组将新风处理到洁净室热湿比 线与相对湿度 95%线交点以下，新风机组不仅将本身的湿负荷去掉，而且还负担洁净室内产生的湿负荷，新风机组要确保洁净室所需要的相对湿度。而新风机组热处理不足部分的干冷负荷将由设在洁净室吊顶上（或夹道内）的干表冷器来补充。因干表冷器是设在 FFU 循环空气通过的吊顶上或夹道内，因此，干表冷所弥补的干冷负荷被循环空气带到洁净室内。由新风机组处理过的新风用管道以能与 FFU 循环空气均匀混合的方式送到洁净室的送风静压箱内。

? ?FFU 布置在洁净室的吊顶上，与新风混合的循环风经 FFU 被高1效过滤器过滤后送到洁净室内，以保证洁净室的洁净度。FFU 的规格以 1200mm×600mm 和 1200mm×1200mm 居多，其断面风速应为≥0.45m/s，余压应≥120Pa，噪声应≤50dB(A)为好。

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? ?湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以。相对湿度越高，粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产jia温度范围为35—45%。?

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