精密光学真空镀膜设备在保养的时候有哪些保养方面的措施，下面的内容中我们就来了解。

一、定期更换扩散泵油：真空镀膜机扩散泵油使用一段时间，约二个月两班：，因在长期高温环境，虽然较高真空时才启动扩散泵，但仍残留氧气及其它成份使之与扩散泵油起反应，扩散泵油在高温下也可能产生裂解，使其品质下降，而延长抽气时间。在我们认为时间延长得太多时，应予更换。

二、真空泵：真空镀膜机机械泵油、维持泵油在使用二个月，油质会发生变化。因油可能抽入水分、杂质及其它原因，而使用油粘性变差，真空下降，故需要更换。如为新设备，在使用头半个月即应更换，因在磨合期，油含磨合铁粉较多，会加剧磨损。

三、清洁卫生：定期将真空镀膜设备及其周围环境卫生搞好，常保持设备内外清洁，将真空镀膜设备周围环境整理有条，有一个好的工作环境，以保安全。

东莞市至成真空科技有限公司专业从事各种真空镀膜设备制造，致力于研发和生产真空镀膜机，为行业客户提供定制化的工艺解决方案和镀膜设备。

真空镀膜设备多弧离子镀膜工艺不仅避免了传统表面处理的不足，且各项技术指标都优于传统工艺，在五金、机械、化工、模具、电子、仪器等领域有广泛应用。催化液和传统处理工艺相比，在技术上有哪些创新？

1、多弧离子镀膜不用电、降低了成本、成本仅为多弧离子镀膜镍的二分之一，真空镀膜机多弧离子镀膜铬的三分之一，不锈钢的四分之一，可反复利用，大大降低了成本。

2、多弧离子镀膜易操作、工艺简单、把金属基件浸入兑好的液体中“一泡即成”，需要再加工时不经任何处理。

3、多弧离子镀膜无污染，无毒无味，无三废排放，属国家环保产品技术。

4、多弧离子镀膜好处理、使用方便；形状复杂的金属基件都能处理。

5、多弧离子镀膜硬度大，硬度增强、催化液泡过的金属基件硬度是多弧离子镀膜工艺的几倍。

6、多弧离子镀膜不会生锈，催化液浸泡过的金属基件已渗透表皮里面，不起皮、不脱落。

多弧离子PVD镀膜设备镀工艺及应用

离子镀基本工艺流程

①工件的预热．

一般的离子镀方法使用烘烤加热装置对工件进行加热，而热阴极离子镀则是利用等离子电子束轰击工件；电弧离子镀是利用金属离子轰击工件，对工件加热，达到预热的目的，有时电弧离子镀也采用辅助烘烤加热装置对工件进行预热。

②离子轰击溅射清洗．

一般离子镀的离子轰击溅射清洗是基片施加负偏压，利用辉光放电产生的Ar离子轰击基片，对基片进行离子轰击溅射清洗，而热阴极离子镀是利用等离子电子束轰击辅助阳级，Ar离子轰击基片进行离子轰击溅射清洗；电弧离子镀是利用金属离子轰击工件，对工件加热的同时对工件进行离子轰击溅射清洗。

③离子沉积.

不同的离子镀方法在离子沉积时，所使用的源和离化方法不同，具体的设备不同，沉积的膜层不同，其工艺程序和工艺参数也不同，因此，应根据具体情况确定沉积的工艺程序和工艺参数，还应注意在整个沉积过程中保持工艺参数的稳定。