厂商 ：深圳金铂利莱科技有限公司
地址 ：广东 深圳主营产品 ：等离子清洗机 plasma设备 电浆清洗机 常压等离子清洗机 plasma 清洗机 真空等离子清洗机 等离子
联系电话 ：17727951917
商品详情描述
| VP80 Plasma |
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| 专为微电子表面清洁与处理设计 | |||||||
| 可以用于处理各种电子材料，包括塑料、金属或者玻璃等。 | |||||||
| 用途 | |||||||
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| █ 集成电路键合前的等离子清洗 | |||||||
| █ ABS 塑料的活化和清洗 | |||||||
| █ 陶瓷封装电镀前的清洗 | |||||||
| █ 其他电子材料表面改性和清洗 | |||||||
| 特性 | |||||||
| █ 采用 13.56MHz 射频电源搭配自动网络匹配器 或 中频40Khz电源 | |||||||
| █ 产品放置治具灵活多变，可适应不同形状的产品 | |||||||
| █ 产品放置平台灵活移动，方便操作 | |||||||
| █ 极小的占地面积 | |||||||
| 技术规格 | VP80 | ||||||
| 电极 | 有效尺寸 | 480（W）*420（D）mm | |||||
| 电极分布 | 8层水平分布，极板间距45mm | ||||||
| 真空腔体 | 尺寸 | 450（W）*400（D）*450(H) | |||||
| 材料 | 航空铝合金 | ||||||
| 主机 | 主机体尺寸 | 800(W)×1600(H)×800(D)mm | |||||
| 安装面积 | 1500*1500mm | ||||||
| 重量 | 标准机型：500KG | ||||||
| RF电源 | 功率@频率 | 美国CERES-600W@13.56MHz或1000W@40Khz | |||||
| 真空泵 | 变频器 | 德国西门子变频器控制真空泵电机 | |||||
| 机械油泵 | 日本ULAVC-60m3/h | ||||||
| 主要配件 | 气体流量计 | SevenStar 2通道0-300sccm | |||||
| 真空探测仪 | 日本ULAVC皮拉尼式 | ||||||
| 破真空阀门 | 日本CKD气动阀门 | ||||||
| 电磁阀 | 日本SMC真空电磁阀 | ||||||
| 控制方式 | 德国西门子PLC & 人机界面 | ||||||
| 安装条件 | 电力 | AC380，50/60Hz，3Phase 5wire，5.2KVA | |||||
| 压缩空气 | 0.4-0.6MPa | ||||||
| 工艺气体 | O2 N2 H2 Ar | ||||||
| 排气管道接口 | KF40 | ||||||
| 深圳金铂利莱科技有限公司 | 联系人：Jerry | ||||||
| ShenZhen Kimberlite Technology Co.Ltd | mail：jerry@sz-kimberlite.com | ||||||
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