（四）设备技术参数：

1.设备型号： VF1800-5060

2.炉膛工作尺寸： 600*500mm（L*?）

3.加热区尺寸：500×400mm（L×?）

4.电源电压：AC 380V,  50/60Hz

5.加热功率：38KW

6.设备总功率：45Kw

7.设备大约尺寸： 

8.占地面积： 约5 m2   

9.设备重量：约1260Kg

10.控制中枢：液晶触摸屏 ，可预设多达百条工艺程序，并可编辑不同中英文工艺名称，需要时直接调用，互不干扰，无需重复修改参数 

11.控温精度 ：控温精度±1℃

12.极限温度：1800℃

13.常用温度：≤1700℃

14.升温速率：由室温升至900℃小于90min（空炉）

15.降温速率：700℃以上≤10℃/min

16.测温传感器： 美国进口 欧米伽热电偶 OMEGA

17.控温仪表：厦门宇电 AI系列仪表，模糊PID控制和自整定调节功能。

18.主要电气配件：施耐德 Schneider

（五）、真空系统：（优点：效率高、无污染、低能耗、低噪音）

1.极限真空度： ≤6.67*10^-4Pa

2.复合真空计：壹套（微行标配）

3.复合分子泵：壹台（微行标配）

4.旋片机械泵：壹台（微行标配）

5.真空机组功率：5Kw

6.复合真空计：ZDF5227BV01 测量范围 1.0*10⁵~1.0*10^-5Pa7.

7.压升率:     ≤0.67Pa/h

（六）、气路系统：保护气氛，高纯氮气。充气压力≤10KPa。手动球阀、电磁阀、防爆阀、微调阀、316L不锈钢管路、扩散硅压力传感器、电接点压力表、浮子流量计组成。系统可根据不同温度段充入不同压力的冷却气体，充气压力到达压力上限设定点可自动停止充气，超压时可自动排压，当低于压力下限设定点又可自动补气。带有一路手动，用于高温停水充气保护。

（七）水冷系统：真空炉炉体、炉门、真空机组、水冷电极都需要冷却水。该系统由主供水管分配到各冷却部位，采用闭式水循环系统，每个电极冷却均配有水流量观察仪，主管路配备水压报警系统。进水有分支接到自来水管道上，以备停电时紧急使用。建议配工业制冷机，

4、气路系统：保护气氛：高纯氩气。充气压力≤10KPa。手动球阀、电磁阀、防爆阀、微调阀、316L不锈钢管路、扩散硅压力传感器、电接点压力表、浮子流量计组成。系统可根据不同温度段充入不同压力的冷却气体，充气压力到达压力上限设定点可自动停止充气，超压时可自动排压，当低于压力下限设定点又可自动补气。带有一路手动，用于高温停水充气保护。

5、装置：停水、超温、加热过流、旋片泵、分子泵，设备具有自检、故障自诊断、自动保护、防止误操作等功能。并具有声光报警提示和具备相应的联锁、互锁保护，自动泄压。

6、从室温到你需要的温度可以全程控制时间温度。超温保护系统：当温度失控时，超过超温保护器设定温度时，自动停止加热供电，从而保护你的产品及机器的；