厂商 :上海纳动纳米位移技术有限公司
地址 :上海 徐汇区主营产品 :压电控制器 压电促动器 压电纳米定位台 压电扫描台 压电物镜定位台 压电平移台 压电陶瓷 压电驱动
联系电话 :18019065512
本系列产品形行程范围为5μm(闭环)。
产品特性
—单轴运动
—运动可达5μm(闭环)
—最大承载0.8kg
Z轴紧凑型设计
选配功能
—可定制安装、负载固定孔位及转接装置
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可提供XZ、XY和XYZ版本
应用领域
—纳米压印、纳米计量、纳米光刻
—原子力显微镜、扫描电镜
—生物技术、干涉测量
—表面测量技术、光纤端面检测、半导体技术
结构原理 位移特性 典型应用