产品描述
PSWH30-005U系列是具有纳米级定位分辨率的高速，多轴，精密纳米定位系统。本系列产品提供最大的多功能性，可以配置XY或XYZ运动，并拥有独立的Z/X轴运动产品。可选配内部位置传感器进行闭环，可进行重复的位置测量。
体积小，外形尺寸仅有30x30x33mm，具有高谐振频率，高稳定性，高精度使其非常适合需要低噪声和高速性能的计量应用。可根据客户要求定制。

PSWH30-005U系列压电陶瓷元件直接移动工作台面，具有高刚性，即使在高负载下可实现稳定定位。

产品特性
—高速1ms响应，多轴定位
—最短的响应时间
—亚纳米范围内的高分辨率
—高度紧凑的设计带来卓越的性能
选配功能
—可定制孔位及转接装置
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可提供XYZ版本
应用领域
—原子力显微镜、扫描探针显微镜
—测量、计量
—光学探针、光学扫描、光束对准
—微流体技术

               结构原理                                     堆叠形式                                   典型应用